AeroBar 5225

Softwaregesteuerter Entladestab für anspruchsvolle Ionisierungs-Anwendungen, Pulsed DC, Steady-State DC

Der softwaregesteuerte AeroBar 5225 wurde von SIMCO-ION für die anspruchsvolle Ionisierungs-Anwendungen in Werkzeugen entwickelt.

Eine hohe Ionenausgabe bewirkt die schnelle Neutralisierung der elektrischen Ladung auf den Wafern und anderen Oberflächen. Das Produkt erfüllt die strengsten Anforderungen im Bereich der Halbleiterherstellung und Wafer-Herstellung.

Das besondere Design des AeroBar 5225 und die reinraumtauglichen Materialien erlauben eine vollständige und effiziente Ionisation auch in kleinen Reinräumen und Reinraumbereichen ohne Störung der laminaren Luftströmung.

Über einen digitalen Sensor wird die Ionisierungsleistung auf dem Wafer überwacht und gesteuert (Closed-loop-feedback).

Der AeroBar lässt sich leicht in jede Anlage integrieren. Die Software verwendet entweder vorkonfigurierte Routinen oder Open-Source-Codes. Nahtlose Integration über die Anlagenschnittstellen bedeutet eine kostengünstige Lösung zur Ionisation zusätzlich zu den Vorteilen der reduzierten Wartungskosten und ein besseres Alarm Management. Systemwarnungen und Meldungen werden direkt angezeigt, alternativ steht ein FMS Alarmausgang zur Verfügung.

Einfache Integration des AeroBar 5225

Die Software von SIMCO-ION erleichtert die Integration in Kundensysteme. Drei verschiedene Möglichkeiten stehen zur Verfügung, um alle Anforderungen zu erfüllen:

• Vollständig dokumentiertes Programmier-Handbuch (API)
• Open Source-Beispielanwendung in Visual C / C ++ -> liefert Beispiele für den Einsatz bei der Entwicklung Ihrer Anlagensteuerungssoftware, oder kann als Stand-alone-Anwendung innerhalb Ihrer Anlagensteuerung oder Monitoring-PC verwendet werden
• Ein Ionisations-Hardware-Simulator ermöglicht eine einfache Software-Entwicklung, ohne dass Hardware vorhanden sein muss

Das SIMCO-ION Software Paket bietet vollständige Kontrolle über das Ionisations-System. Einstellungen über alle Parameter können vorgenommen werden: Betriebsart (gepulsten DC, Steady-State DC oder Standby), Synchronisation, Ein-/Aus-Zeiten, Sperrzeiten, Stromausgangspegel und Alarmschwellen für positive und negative Emitter mit unabhängiger Kontrolle über jeden Aerobar.

Closed-loop-Feedback

Das SIMCO-ION Digital Sensor Modell 5200-SR verbessert die Überwachung der Ionisierungsleistung in geschlossenen Umgebungen und stellt den Ionenaustritt automatisch ein. Dieser Sensor ist das einzige Produkt seiner Art zur Erstellung einer geschlossenen Schleife im Ionisations-System. Durch die ständige Überwachung und Steuerung zur optimalen Einstellungen sind Produkte (vor allem Wafer) stets vor statischer Ladung geschützt.

Eigenschaften des AeroBar 5225

• Vollständige Integration in kundeneigenen Anlagensteuerungssysteme
• Weitreichend individuell einstellbare Parameter für jeden AeroBar
• Ionenstromüberwachung
• Verschiedene Längen darunter drei Längen speziell für EFEMs ausgelegt
• FMS-Alarmausgang
• Einkristalline-Silizium-Emitterspitzen

Vorteile des AeroBar 5225

• Einstellung, Betrieb und Wartung softwaregesteuert
• Feinabstimmung der Ionisierung für individuelle Prozesse in jedem Bereich der Anlagen
• Kontrollierte gesteuerte Ionenausgabe und stabile Leistung
• Extrem sauberes Emittermaterial, ohne das Risiko einer Wafer-Kontamination durch Dotierungen oder Metallionen